11章5節6節
ムービー11-5
田中 桂一氏実験、シランと水素の混合ガスに放電して、2枚の電極の間に、プラズマをつくる。アモルファスシリコンの膜が生成される。
シラン放電プラズマ、マイクロ波吸収セル